当前位置: 主页 > 新闻动态 >

单晶硅拉晶过程中的硅液液位是否可以使用MSE-GL30进行测量呢?


时间:2025-04-29 16:16

是的,MSE-GL30激光液位计可以用于单晶硅拉晶过程中的硅液液位测量,尤其是在高温熔融硅(1450℃左右)的环境下,该设备具备高精度、稳定性和抗干扰能力。以下是具体分析:

 

1. MSE-GL30的技术特点

MSE-GL30是一款专为高温熔融液体(如硅液、玻璃液)设计的激光液位计,具有以下特性:

高精度测量:测量精度可达0.5mm,分辨率0.1mm,适用于单晶硅拉晶过程中对液位稳定性的高要求。

测量高温物体:可测量1450℃高温液体,并支持水冷或气冷冷却方式,确保传感器在极端条件下稳定运行。

非接触式测量:采用相位比较激光测距原理,避免传统接触式测量(如石英销法)带来的污染问题。

实时监测:支持10Hz的测量频率,可实时反馈液位变化,便于闭环控制。

抗干扰能力强:内置滤波功能,可减少液面抖动带来的测量误差,确保数据稳定。

 

2. 单晶硅拉晶对液位测量的需求

在直拉法(CZ法)单晶硅生长过程中,硅液液位的稳定性直接影响熔间隙(melt gap)的控制,进而影响单晶硅的质量。传统方法(如石英销法、倒影法)存在以下问题:

石英销法:无法实时监测液位变化,仅适用于初始校准。

倒影法(CCD相机):受液面抖动影响大,可能导致测量误差,甚至影响晶体生长质量。

相比之下,MSE-GL30激光液位计能:

实时、高精度监测液位,确保熔间隙稳定。

减少液面抖动干扰,提高单晶硅生长的均匀性。

适用于高温、恶劣工业环境,不会因热辐射或电磁干扰影响测量结果。

 

3. 实际应用案例

烟台莫顿测控技术有限公司提供的MSE-GL30已成功应用于高温硅液液位测量,并在单晶硅生产线上验证了其可靠性5。

该设备还可用于熔融玻璃、防腐材料、辐射环境的液位监测,表明其在类似工业场景中的适用性。

 

4. 结论

MSE-GL30激光液位计完全适用于单晶硅拉晶过程中的硅液液位测量,其高精度、耐高温、抗干扰等特性使其优于传统测量方法。如需进一步了解技术参数或采购信息,可联系烟台莫顿测控技术有限公司(0535-2161083)

上一篇:激光位移传感器在柔性成型机中的应用 下一篇:没有了